26
 5
  5
  4
  4
  3
軽度
    4
 5
  4
  4
  3
  2
中程度
    3
 4
  4
  3
  2
  1
重大性大   2
 4
  3
  2
  1
  1
致命的
    1
ほとんどなし E
まれ
  D
可能性あり  C
比較的あり  B
頻繁
  A
1:死亡者1名以上
2:身体障害をもたらすケガまたは疾病
3:治療を伴うか作業行為を制限される
  もの
4:応急処置のみ
A:年5回以上
B:年1回から5回の範囲
C:5年間で1回以上,ただし年1回以下
D:10年間で1回以上,ただし5年間で
  1回以下
E:10年間で1回以下
SEMI半導体製造装置の安全性ガイドライン